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- 產品名稱：無氧化精密烤箱
- 產品型號：
- 產品展商：其它品牌
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簡單介紹
無氧化精密烤箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
產品描述
一．用途:
無氧化精密烤箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
二．特點：
1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到*佳溫度控制精度。
三．無氧化精密烤箱產品技術參數：
1.主要技術指標：
無塵等級：Class 100; 溫度范圍： 60～ +300℃；
溫度均勻度：200℃±4℃; 溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃; 工作尺寸：W800×D600×H1300
電源：380v , 50Hz，15KW 網板：2塊（高度可調節)
潔凈度100級的潔凈熱處理
HEPA過濾器與前出風型水平層流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。*小限度控制風速距離。
M計裝可編程控制
1模式20步驟，*多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設定程序的重復次數在1-999次間設定。
簡單操作的標準計裝
標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。
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型號
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溫度范圍
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內容積
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其它參數
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內尺寸
（W×H×Dmm）
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外尺寸
（W×H×Dmm）
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PVC-178
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(RT+60)～+200℃
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178L
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潔凈度：100級
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580×530×580
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770×1,280×1,025
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PVC-380
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(RT+60)～+200℃
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380L
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潔凈度：100級
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580×1130×580
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770×1,880×1,025
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PVC-678
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(RT+60)～+200℃
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678L
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潔凈度：100級
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800×1130×750
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1,030×1,880×1,025
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PVHC-178
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(RT+60)～+350℃
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178L
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潔凈度：100級
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580×530×580
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770×1,280×1,025
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PVHC-380
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(RT+60)～+350℃
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380L
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潔凈度：100級
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580×1,130×580
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770×1,880×1,025
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PVHC-678
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(RT+60)～+350℃
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678L
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潔凈度：100級
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800×1,130×750
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1030×1,880×1,210
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PVHC-347MS
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(RT+60)～+300℃
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347L
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潔凈度：100級
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580×1,130×530
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770×1,880×1,025
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PVHC-633MS
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(RT+60～+300℃
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633L
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潔凈度：100級
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800×1,130×700
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1,030×1,880×1,210
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