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- 產品名稱:百級無塵烤箱
- 產品型號:
- 產品展商:其它品牌
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簡單介紹
百級無塵烤箱,制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。Class 100 Clean Ovens
產品描述
一.百級無塵烤箱用途:
PVC無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
二.百級無塵烤箱特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到*佳溫度控制精度。
型號
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溫度范圍
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內容積
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其它參數
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內尺寸
(W×H×Dmm)
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外尺寸
(W×H×Dmm)
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PVC-178
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(RT+60)~+200℃
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178L
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潔凈度:100級
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580×530×580
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770×1,280×1,025
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PVC-380
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(RT+60)~+200℃
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380L
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潔凈度:100級
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580×1130×580
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770×1,880×1,025
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PVC-678
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(RT+60)~+200℃
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678L
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潔凈度:100級
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800×1130×750
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1,030×1,880×1,025
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PVHC-178
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(RT+60)~+350℃
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178L
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潔凈度:100級
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580×530×580
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770×1,280×1,025
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PVHC-380
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(RT+60)~+350℃
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380L
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潔凈度:100級
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580×1,130×580
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770×1,880×1,025
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PVHC-678
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(RT+60)~+350℃
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678L
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潔凈度:100級
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800×1,130×750
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1030×1,880×1,210
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PVHC-347MS
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(RT+60)~+300℃
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347L
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潔凈度:100級
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580×1,130×530
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770×1,880×1,025
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PVHC-633MS
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(RT+60~+300℃
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633L
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潔凈度:100級
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800×1,130×700
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1,030×1,880×1,210
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2、百級無塵烤箱箱體結構:
烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
內膽材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
中桶材料:采用上等SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。